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雙層潔凈無氧烘箱

產品詳情


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適用于半導體晶圓后段晶圓片清洗之后的軟烤，硬烤，電鍍工藝，采用SUS304潔凈不銹鋼材質，進口超高效H.E.P.A過濾器，自動開關風門結構，通過內部不斷循環(huán)過濾，不斷過濾內部partical快速形成無氧潔凈環(huán)境，機臺采用大功率三相靜音低震動馬達，不銹鋼渦輪扇葉，獨特設計渦輪結構，結合雙循環(huán)風道，形成風量均勻的循環(huán)熱風，實現高潔凈，溫度均勻的無氧烘烤環(huán)境，確保烘烤物料受熱均勻，無氧化現象發(fā)生。

技術參數
設備型號FDC-2FDC-3FDC-4FDC-5FDC-2DFDC-3D
控溫范圍50~200℃(最高可訂制400℃）
溫度分辨率0.1℃
溫度波動度±0.5℃
溫度均勻度±1.5%（200℃恒溫空載測試數據）
潔凈度class10/100/1000
過濾器效率H13~H14
內部尺寸mmW600*D500*H600W600*D500*H900W800*D600*H1000W800*D800*H1000(W600*D600*H500)*2箱(W400*D400*H400)*3箱
外部尺寸mmW950*D1180*H1410W950*D1180*H1710W1060*D1280*H1810W1060*D1480*H1660W1630*D1220*H1780W1430*D1020*H1880
層架2PCS4PCS
電源AC 220V 50HZAC 380V 50HZ
功率7KW9KW12KW16KW16KW18KW
定時范圍0~99H/M/S
送風方式單向水平送風
升溫時間RT~200℃約20min
控溫方式P.I.D
結構設計單門，控制柜位于頂部多倉，控制柜位于側面
內部材料SUS304#
外部材料鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼
安全保護措施1.接地保護 2.過載保護3. 相序保護 4.超溫保護 5. 獨立限溫保護
選配7寸觸摸屏HMI人機界面控制器（帶歷史曲線，USB轉存儲功能，配套PC端軟件及聯網端口），φ25mm/φ50mm/φ100mm測試孔           電磁門禁系統(tǒng)，溫度校準，非標訂制服務。 


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