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潔凈烤箱

產(chǎn)品詳情

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技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

ENOHK品牌潔凈烘箱(無(wú)塵烘箱)-FDC系列采用獨(dú)特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計(jì),通過(guò)耐高溫超高效過(guò)濾器H.E.P.A不斷對(duì)內(nèi)部進(jìn)行自凈化過(guò)濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

產(chǎn)品特點(diǎn):

●內(nèi)膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE

●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經(jīng)酸洗磷化等防銹處理后噴塑

●保溫層:采用正廠一級(jí)100K級(jí)高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm

●過(guò)濾器:進(jìn)口耐高溫?zé)o邊框超高效過(guò)濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過(guò)濾效率99.999%

●壓差計(jì):進(jìn)口壓差計(jì),監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。

●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數(shù)字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5% 

●溫度傳感器:日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%,精度高,誤差小

●鼓風(fēng)裝置:采用大功率耐高溫長(zhǎng)軸減震靜音馬達(dá),大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作

●電熱發(fā)生器:覆套式無(wú)塵化電熱發(fā)生器

●風(fēng)門調(diào)節(jié):進(jìn)口伺服電機(jī)自動(dòng)風(fēng)門裝置,自動(dòng)控制風(fēng)門開(kāi)關(guān),確保烘烤前后箱內(nèi)密閉

●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁(yè)鉸鏈門扣,易開(kāi)易關(guān)。

●密封膠條:采用改性無(wú)氟硅橡膠材質(zhì),耐高溫,不易老化,密封性極佳

●支撐腳輪:配置4只高承重萬(wàn)象活動(dòng)輪,前輪帶剎車,方便移動(dòng),同時(shí)配置4只水平調(diào)整腳杯

選配組件:

1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實(shí)現(xiàn)99段*99組程序控溫。

2.測(cè)試孔:可在側(cè)面加裝Φ35mm測(cè)試孔

3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過(guò)程箱門密閉,內(nèi)部環(huán)境不被破壞。

4.多點(diǎn)溫度記錄:可配置多點(diǎn)溫度記錄儀,打印機(jī)或RS485接口,連接打印機(jī)或PC設(shè)備,監(jiān)控記錄溫度狀況。

5.三色指示燈:工作狀態(tài)指示燈,待機(jī),運(yùn)行,故障閃燈光警示。

6.其它非標(biāo)訂制:可根據(jù)客戶實(shí)際需求提供產(chǎn)品訂制
FDC系列無(wú)塵潔凈烘箱規(guī)格一覽表:

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

ENOHK品牌潔凈烘箱(無(wú)塵烘箱)-FDC系列采用獨(dú)特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計(jì),通過(guò)耐高溫超高效過(guò)濾器H.E.P.A不斷對(duì)內(nèi)部進(jìn)行自凈化過(guò)濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

產(chǎn)品特點(diǎn):

●內(nèi)膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE

●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經(jīng)酸洗磷化等防銹處理后噴塑

●保溫層:采用正廠一級(jí)100K級(jí)高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm

●過(guò)濾器:進(jìn)口耐高溫?zé)o邊框超高效過(guò)濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過(guò)濾效率99.999%

●壓差計(jì):進(jìn)口壓差計(jì),監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。

●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數(shù)字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5% 

●溫度傳感器:日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%,精度高,誤差小

●鼓風(fēng)裝置:采用大功率耐高溫長(zhǎng)軸減震靜音馬達(dá),大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作

●電熱發(fā)生器:覆套式無(wú)塵化電熱發(fā)生器

●風(fēng)門調(diào)節(jié):進(jìn)口伺服電機(jī)自動(dòng)風(fēng)門裝置,自動(dòng)控制風(fēng)門開(kāi)關(guān),確保烘烤前后箱內(nèi)密閉

●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁(yè)鉸鏈門扣,易開(kāi)易關(guān)。

●密封膠條:采用改性無(wú)氟硅橡膠材質(zhì),耐高溫,不易老化,密封性極佳

●支撐腳輪:配置4只高承重萬(wàn)象活動(dòng)輪,前輪帶剎車,方便移動(dòng),同時(shí)配置4只水平調(diào)整腳杯

選配組件:

1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實(shí)現(xiàn)99段*99組程序控溫。

2.測(cè)試孔:可在側(cè)面加裝Φ35mm測(cè)試孔

3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過(guò)程箱門密閉,內(nèi)部環(huán)境不被破壞。

4.多點(diǎn)溫度記錄:可配置多點(diǎn)溫度記錄儀,打印機(jī)或RS485接口,連接打印機(jī)或PC設(shè)備,監(jiān)控記錄溫度狀況。

5.三色指示燈:工作狀態(tài)指示燈,待機(jī),運(yùn)行,故障閃燈光警示。

6.其它非標(biāo)訂制:可根據(jù)客戶實(shí)際需求提供產(chǎn)品訂制
FDC系列無(wú)塵潔凈烘箱規(guī)格一覽表:

設(shè)備型號(hào)FDC-2FDC-3FDC-4FDC-5FDC-2DFDC-3D
控溫范圍50~200℃(最高可訂制400℃)
溫度分辨率0.1℃
溫度波動(dòng)度±0.5℃
溫度均勻度±1.5%(200℃恒溫空載測(cè)試數(shù)據(jù))
潔凈度class10/100/1000
過(guò)濾器效率H13~H14
內(nèi)部尺寸mmW600*D500*H600W600*D500*H900W800*D600*H1000W800*D800*H1000(W600*D600*H500)*2箱(W400*D400*H400)*3箱
外部尺寸mmW950*D1180*H1410W950*D1180*H1710W1060*D1280*H1810W1060*D1480*H1660W1630*D1220*H1780W1430*D1020*H1880
層架2PCS4PCS
電源AC 220V 50HZAC 380V 50HZ
功率7KW9KW12KW16KW16KW18KW
定時(shí)范圍0~99H/M/S
送風(fēng)方式單向水平送風(fēng)
升溫時(shí)間RT~200℃約20min
控溫方式P.I.D
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)單門,控制柜位于頂部多倉(cāng),控制柜位于側(cè)面
內(nèi)部材料SUS304#
外部材料鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼
安全保護(hù)措施1.接地保護(hù) 2.過(guò)載保護(hù)3. 相序保護(hù) 4.超溫保護(hù) 5. 獨(dú)立限溫保護(hù)
選配7寸觸摸屏HMI人機(jī)界面控制器(帶歷史曲線,USB轉(zhuǎn)存儲(chǔ)功能,配套PC端軟件及聯(lián)網(wǎng)端口),φ25mm/φ50mm/φ100mm測(cè)試孔           電磁門禁系統(tǒng),溫度校準(zhǔn),非標(biāo)訂制服務(wù)。 



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